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Proceso de reducción de triclorosilano
Método de control del proceso de reducción de triclorosilano Este método incluye la etapa de control de reacción preliminar, la etapa de control de reacción estable y la etapa de control de reacción final. En la etapa de control de reacción preliminar, el flujo de SiHCl3 se controla por debajo de 260 metros cúbicos/hora, el flujo de H2 se controla por debajo de 520 metros cúbicos/hora y la corriente se controla entre 30 y 1000 amperios. En la etapa de control de reacción estable, el flujo de SiHCl3 se controla entre 175-260 metros cúbicos/hora, el flujo de H2 se controla entre 385-520 metros cúbicos/hora y la corriente se controla entre 1000-2000 amperios. En la etapa final de control de la reacción, el flujo de SiHCl3 se controla entre 130-250 metros cúbicos/hora. El caudal de H2 se controla entre 360 y 520 m3/h, y la corriente se controla entre 100 y 800 amperios. La invención mejora el rendimiento de triclorosilano y reduce el consumo de energía, reduciendo el costo de producción de las empresas.
El principio es reducir el triclorosilano de alta pureza con hidrógeno de alta pureza en el núcleo de silicio de alta pureza a aproximadamente 1100 ℃ para generar silicio policristalino depositado en el núcleo de silicio. Sobre la base del proceso tradicional de Siemens, el proceso mejorado de Siemens está equipado con un proceso de apoyo de ahorro de energía, reducción de consumo, reciclaje y utilización de una gran cantidad de H2, HCI, SiCI4 y otros subproductos y una gran cantidad de por -produccion de energia calorifica. En polisilicio en el proceso de producción, el uso de H2 reduce el hidrógeno químico de silicio en la varilla de silicio generada en los pasos de polisilicio es el paso más importante, el proceso de tasa de producción de polisilicio de clave alta y baja también se encuentra en el control de los pasos del proceso, por lo tanto para mejorar la tasa de producción de polisilicio es el punto clave de control de los pasos del proceso, y el paso del proceso está bajo la condición de proceso de reacción a alta temperatura, alto consumo de energía. Para reducir el consumo de energía, también es necesario controlar el paso del proceso razonablemente.
