Métodos de síntesis de triclorosilano

En la actualidad, existen dos métodos principales de síntesis de triclorosilano : uno es el método de síntesis tradicional, es decir, el método del cloruro de silicio. El otro es la hidrolización de tetracloruro.

En la actualidad, el método principal de producción de polisilicio es el método modificado de Siemens, que utiliza triclorosilano .