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Hidrogenación de tetracloruro de silicio en triclorosilano
El desarrollo de la industria fotovoltaica ha promovido en gran medida el desarrollo de la industria del polisilicio, y la producción de polisilicio produce una gran cantidad de subproductos de tetracloruro de silicio. Para el desarrollo sostenible de la industria del polisilicio, se debe resolver la utilización integral de los problemas de tetracloruro de silicio, la preparación de hidrogenación de silicio y tetracloruro de silicio en hidrógeno químico es la forma más efectiva de tratar el tetracloruro de silicio, este método no solo puede deshacerse del tetracloruro de silicio , al mismo tiempo generar producción de polisilicio de hidrógeno químico de materias primas de silicio, reducir en gran medida el costo de producción.
La hidrogenación a alta temperatura del tetracloruro de silicio es un método importante para tratar el tetracloruro de silicio como subproducto del polisilicio. La hidrogenación a alta temperatura es tetracloruro de silicio e hidrógeno como materia prima, calentada por un calentador de grafito de 1200 ~ 1250 ℃, reacción de reducción térmica para producir triclorosilano .
Las ventajas del proceso son que todo el sistema es de circulación cerrada, apto para un funcionamiento continuo y estable; Triclorosilano productos de alta pureza, necesitan menos enlaces de destilación. La desventaja es que la reacción debe llevarse a cabo a una temperatura de 900~1400℃ o incluso más alta y una presión alta de 1~35MPa, y el consumo de energía es grande; Como el dispositivo de calentamiento del reactor es un cinturón de grafito isostático, es fácil formar metano y otros gases en condiciones de alta temperatura y presión, lo que traerá contaminación de carbono al polisilicio en la producción de ciclo cerrado.
