Triclorosilano de alto carbono

El polvo de silicio seco reacciona con el gas de cloruro de hidrógeno seco a 340 ° C en un horno de lecho fluidizado de cloración, y el triclorosilano crudo generado se separa en tetracloruro de silicio mediante un colector de polvo húmedo y una torre de destilación del condensador de haz de tuberías, y luego se condensa para obtener el producto terminado. El producto también se puede obtener por la reacción de ferrosilicio y HCl.