Triclorosilano de grado electrónico

El triclorosilano de grado electrónico sihc13 es un líquido incoloro, inflamable y corrosivo y tiene un olor sofocante. Hidrolizar rápidamente en aire húmedo para producir cloruro de hidrógeno: punto de ebullición 31.9 ':. Punto de fusión 126.5 c:. Densidad del líquido Resistencia 134ukgi: en el aire "}", el límite de inflamabilidad es B.9% - 7U}'u. Punto de inflamación - 28. U}. Ti}v según HCl) 5x 1U ".

Especificación

Método de preparación

El método de preparación es tomar dicloruro de silicio de grado industrial como materia prima y purificarlo por rectificación. El dicloruro de silicio se utiliza como fuente de silicio para la deposición química de vapor en la fabricación de chips semiconductores y otros componentes-