El triclorosilano de grado electrónico sihc13 es un líquido incoloro, inflamable y corrosivo y tiene un olor sofocante. Hidrolizar rápidamente en aire húmedo para producir cloruro de hidrógeno: punto de ebullición 31.9 ':. Punto de fusión 126.5 c:. Densidad del líquido Resistencia 134ukgi: en el